Produktmerkmale
Vigor Specialty Gas Control Rack ist ein intelligentes Gasversorgungssystem, das speziell für Spezialgase mit hochreinem elektronischer Qualität (wie inerte und korrosive Gase) ausgelegt ist. Es ist für Umgebungen geeignet, die strenge Gasreinheit, Stabilität und Sicherheitsstandards erfordern. Das System mit modularem Design, Reinraum -Herstellungsprozessen und mehreren Sicherheitsschutzschichten sorgt für eine kontinuierliche und zuverlässige Gasversorgung. Es wird in Branchen wie Halbleitern, Biopharmazeutika und Photovoltaikenergie häufig eingesetzt.
Technische Spezifikationen
|
Kategorie |
Parameterdetails |
|
Anwendbare Gase |
Inerte Gase (z. B. CF₄, Sf₆, Chf₃, AR, He usw.) |
|
Gasversorgungsmodus |
Zylinderversorgung (Einzel-\/Dual -Zylinder -Konfigurationen verfügbar) |
|
Stromversorgung |
110 ~ 240 V AC |
|
Materialien |
Ventile und Rohrleitungen: SS 316L Edelstahl |
|
Schutzniveau |
Einhaltung der SEMI S2- und explosionssicheren Anforderungen |
Kernfunktionen und Funktionen
Sichere und stabile Gasversorgung
1) Unterstützt die kontinuierliche Gasversorgung entweder mit Einzelzylinder- oder Dual-Zylinder (Einzel-\/Dual-Zylinder-Konfiguration) Einstellungen, um Versorgungsunterbrechungen zu vermeiden.
2) Optionale Entlüftungs- und Reinigungsfunktionen, integriert in ein Sicherheitsreliefgerät, um Überdruckrisiken zu mildern.
Hoches Sauberkeitsdesign
1) Ventile und Rohrleitungskomponenten bestehen aus SS 316L Edelstahl.
2) Das gesamte System ist in einer Reinraumumgebung der Klasse 100 geschweißt und zusammengestellt, um keine Partikelverunreinigung zu gewährleisten.
3) Helium -Leckerkennungsstandard: Leckquote weniger als 1 × 10 ° ° Mbar · l\/s (He).
Intelligente Kontrolle
1) Optionales SPS -Steuerungssystem verfügbar, unterstützende Kommunikationsschnittstellen (z. B. Modbus) zur Integration in intelligente Überwachungsplattformen und das Aktivieren von Remote -Management.
2) Touchscreen-Anzeige zeigt Echtzeitzylinderdruck, Gasverbrauch und Alarmstatus an.
Mehrere Sicherheitsschutz
1) Hoch-\/Niederdruck-Hör- und visuelle Alarme, die bei der Aktivierung automatisch Notfallgasabschlüsse auslösen.
2) den SEMI S2 -Standards und internationalen Brandschutzvorschriften entspricht; Der maximale Arbeitsdruck beträgt 110% des Testdrucks.
Anwendung
1)Semiconductor Manufacturing:Spezialgasversorgung für Waferverarbeitung und Ätzenanwendungen.
2)Biopharmazeutika:Genauige Kontrolle der inerten Gase in der hohen Purität in sterilen Umgebungen.
3)Photovoltaik -Energie:Prozessgasmanagement während der Produktion von Solarpanels.
4)Forschungslabors:Sichere Gasversorgungssysteme für Universitäten und Forschungsinstitute.
Zeichnungen
Automatisches Hochdruckgasregal
Das System verfügt über automatische Schalten und Spülung, ausgestattet mit einem 47L-Dual-Process-Zylinder, der über 1\/4 "Schläuche angeschlossen ist. Es enthält SPS-Steuerung, A 10- Zoll Touchscreen-Grenzfläche, Turmlicht, Negativdruckmesser, Differenzdruckschalter und andere wesentliche Komponenten.
Automatischer Niederdruckgasregal
Das System umfasst automatische Schalt- und Reinigungsfunktionen mit einem 47L-Dual-Prozess-Zylinder, der über 1\/4 "Schläuche angeschlossen ist. Es ist mit SPS-Steuerung, einem 10- Zoll Touchscreen, Tower Light, Negativdruckmesser, Differenzdruckschalter sowie einer Skala, einem Zylinderheizung sowie einer Turmheizung und der Oberflächenheizung ausgestattet.
FAQ
Q1: Wie wähle ich zwischen einer Einzylinder- und Dual-Zylinder-Konfiguration?
A: Ein Dual-Cylinder-Setup unterstützt automatische Umschaltungen und eignet sich ideal für den kontinuierlichen Gasversorgungsbedarf. Ein Einzelzylinder-Setup ist kostengünstiger und geeignet, wenn Ersatzzylinder schnell ersetzt werden können.
Q2: Was sind die Vorteile des SPS -Steuermoduls?
A: Die SPS ermöglicht die Fernüberwachung, die Datenprotokollierung und die Alarmverbindung (z. B. die Aktivierung von Ventilen oder die Belüftung), wodurch die Systemautomatisierung verbessert wird.
Q3: Was ist der empfohlene Wartungszyklus für das System?
A: Ein Dual-Cylinder-Setup unterstützt automatische Umschaltungen und eignet sich ideal für den kontinuierlichen Gasversorgungsbedarf. Ein Einzelzylinder-Setup ist kostengünstiger und geeignet, wenn Ersatzzylinder schnell ersetzt werden können.
Q4: Wie wähle ich zwischen einer Einzylinder- und Dual-Zylinder-Konfiguration?
A: Es wird empfohlen, alle drei Monate die Versiegelungs- und Leckrate des Systems zu überprüfen und Drucksensoren und Alarmschwellen jährlich zu kalibrieren. In Reinraumumgebungen können Inspektionen auf alle sechs Monate verlängert werden.
Q5: Wie wird Gasleckage erkannt?
A: Die vollständige Systeminspektion wird unter Verwendung eines Helium -Massenspektrometer -Leckdetektors durchgeführt. Bei den täglichen Operationen können potenzielle Lecks durch abnormale Druckkurven -Messungen angezeigt werden.
Q6: Kann der Touchscreen historische Daten exportieren?
A: Der Standard-Touchscreen zeigt Echtzeitdaten an. Wenn ein SPS -Modul ausgewählt ist, unterstützt es historische Datenspeicherung und Exportieren (z. B. CSV -Format).
Q7: Unterstützt das System korrosive Gase?
A: Die Unterstützung von korrosiven Gasen erfordert maßgeschneiderte Materialien (z. B. Duplex -Edelstahl) und Dichtungskomponenten. Bitte wenden Sie sich an unser technisches Support -Team, um die Kompatibilität zu bestätigen.
Abschluss
Das Vigor Specialty Gas Control Rack bietet eine präzise Kontrolle und hält sich strengen Sicherheitsstandards an und bietet eine zuverlässige Lösung für Gasmanagement-Lösung für High-End-Herstellungs- und Forschungssektoren. Für individuelle Konfigurationen oder technische Details wenden Sie sich bitte an das offizielle Vigor Service -Team.
Beliebte label: Vigor Specialty Gas Rack, China Vigor Specialty Gas -Rack -Hersteller, Lieferanten, Trenner, Wartungssoftware für das Drucksteuerungstafel, Gas im Drucken, Audiokabel, MicroSD -Karte, Mauspad
